電子特氣制備工藝系統(tǒng)的應用

電子特種氣體，是一種用于制造半導體及其他電子器件的特種氣體，是半導體制造的重要原材料之一，應用于晶圓制造的各個環(huán)節(jié)。隨著半導體產(chǎn)能逐步向中國特別是集成電路制造業(yè)轉(zhuǎn)移，本土對品質(zhì)、品質(zhì)要求高的電子特種氣體需求更加旺盛。

電子特種氣體，包括硅族氣體、鹵化物或鹵素化合物氣體，含硼、磷、砷等原子的氣體，以及碳氟化合物氣體，種類繁多。與工業(yè)氣體不同，電子特種氣體要求電子級，即更高的純度，以滿足半導體制造微加工工藝的潔凈要求，而“特”則體現(xiàn)在其毒性、腐蝕性、可燃性等化學活性上，更容易參與半導體制造過程中的化學反應。

電子專用氣體的好壞直接影響光電和微電子元器件的質(zhì)量、集成度、具體技術(shù)指標和成品率，對半導體集成電路芯片的質(zhì)量和性能具有重要意義。國內(nèi)電子特氣雖已占據(jù)一定市場，但仍以光伏、LED、平板顯示等泛半導體制造為主。集成電路制造用電子專用氣體國產(chǎn)化率較低。電子專用氣體，特別是關(guān)鍵工藝氣體，如果在集成電路制造中需要通過驗證，對制備體系、質(zhì)量控制穩(wěn)定性和包裝都有更高的標準要求。

高純氣體產(chǎn)品質(zhì)量檢驗要求

不同種類的半導體器件，其制造工藝不同，電子特種氣體的種類也不同，對電子特種氣體純度的要求也不同。集成電路占據(jù)了半導體產(chǎn)品市場80%以上的份額，制造工藝最復雜，技術(shù)壁壘最高，審核認證最嚴格，制造過程中需要的電子特種氣體種類最多。并且工藝線寬越小，對電子特種氣體的純度要求越高，需要檢測的氣體雜質(zhì)和金屬雜質(zhì)的種類也就越多。

除了滿足指標要求外，電子特氣質(zhì)量的一致性也非常關(guān)鍵。半導體制造廠采用統(tǒng)計過程控制（SPC）技術(shù)控制半導體材料電子專用氣體的質(zhì)量，避免和消除非自然異常，保證質(zhì)量的一致性，從而保證半導體制造的穩(wěn)定性和良率。

電子專用氣體主要用于半導體制造的外延、擴散、光刻、刻蝕、薄膜、離子注入等工藝。是制造集成電路、平板顯示器、化合物半導體器件、光伏器件、光纖等半導體器件不可缺少的基礎(chǔ)材料。一。衡量電子特種氣體質(zhì)量的指標不僅指氣體本身的純度，還包括影響制造過程的各種關(guān)鍵雜質(zhì)含量，如氧氣、水分、金屬、離子濃度、顆粒物等。我們通常用N（九）來表示氣體的純度。6N表示氣體純度為99.9999%。雜質(zhì)含量通常為ppm（百萬分之一，0.0001%）、ppb（十億分之一，十億分之一，0.0000001%）。

高純氣體產(chǎn)品品質(zhì)檢驗要求（舉例）